超音波清洗的机制是来自于清洗剂的化学作用与空穴效应的物理作用,两者缺一不可,故若仅使用清水无法达到洗净的目的,清洗剂主要成分为界面活性剂及润湿物质,用以打断清洗物与污染物如油污等之间的连结键,加上空穴效应产生的剥离力量,很容易就将污染物从被洗物表面情除,达到清洗目的。